Limits Of Detection for GaAs and Ga Analysis

N

Element

GaAs

Ga

Typical LOD

Low LOD

Typical LOD

Low LOD

ppb atomic

ppb atomic

ppb weight

ppb weight

1 

Li

0.9

0.2

0.2

0.04

2 

Be

0.6

0.09

0.1

0.02

3 

B

0.6

0.08

0.2

0.04

4 

F

4

2

5

3

5 

Na

0.5

0.09

0.2

0.04

6 

Mg

0.3

0.05

0.2

0.04

7 

Al

0.3

0.05

0.3

0.05

8 

Si

0.7

0.2

0.4

0.09

9 

P

0.4

0.08

0.5

0.1

10 

S

0.4

0.08

0.5

0.1

11 

Cl

0.2

0.05

0.4

0.08

12 

K

4

3

4

3

13 

Ca

7

1

8

1

14 

Ti

0.07

0.01

0.05

0.008

15 

Cr

0.3

0.07

0.3

0.07

16 

Mn

0.2

0.05

0.2

0.05

17 

Fe

0.2

0.05

0.3

0.07

18 

Ni

0.2

0.03

0.3

0.07

19 

Cu

0.5

0.09

0.8

0.1

20 

Zn

0.8

0.1

1.2

0.3

21 

Ge

30

10

30

8

22 

Se

6

4

10

6

23 

Mo

0.2

0.05

0.8

0.1

24 

Cd

3

1

8

3

25 

In

50

35

0.8

0.1

26 

Sn

1

0.2

5

0.8

27 

Sb

0.3

0.06

1.5

0.2

28 

Te

0.5

0.1

1.5

0.3

29 

Pb

0.1

0.02

0.9

0.2

30 

Bi

0.08

0.02

1.3

0.5